Liquid Crystal On Silicon and Manufacturing Method Thereof

• Main Authors: LEE, YONG HYUN, PAIK, WOO SUNG, SONG, NAM CHOL, LEE, JAE MIN, JANG, DONG HOAN
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 08.03.2019
• Subjects: DEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH ISMODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THEDEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY,COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g.SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICS; PHYSICS; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF

본 발명은 실리콘액정표시장치 및 이의 제조방법에 관한 것으로 본 발명에 따르면, 실리콘웨이퍼의 상측 일부 부분에 블랙매트릭스(Resin Black Matrix) 구조층을 형성시키는 A단계; 상기 A단계에서 블랙매트릭스 구조층이 형성된 상기 실리콘웨이퍼의 상측에서, 액티브영역에 얼라인먼트 레이어(alignment layer)를 형성시키는 B 단계; 상기 A 단계에서 형성된 상기 블랙매트릭스 구조층의 상단에 실런트(sealant)를 도포시키는 C 단계; 및 상기 C 단계에서 실런트가 도포된 상기 실리콘웨이퍼의 블랙매트릭스 구조층의 상측에 ITO글라스를 합착시키는 D 단계; 를 포함하고, 상기 실리콘웨이퍼 및 상기 ITO글라스 사이의 간격은 상기 블랙매트릭스 구조층에 의해 설정 또는 유지될 수 있으며, 실런트(Sealant)에 스페이서를 포함시킬 필요가 없으므로 실런트 내에 스페이서의 분포 차이에 의한 셀 갭(cell gap)의 불균일성을 억제 내지 예방할 수 있고, 얼라인먼트 레이의 테두리 측을 통한 빛샘현상이 억제되므로 콘트라스트비가 증진된 실리콘 액정 표시장치를 제공하여 줄 수 있는 기술이 개시된다.