GANTRY TYPE POSITIONING APPARATUS

• Main Authors: HEINIGER LAURENT, INGRAM DAVID
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 06.03.2019
• Subjects: ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVEREDIN A SINGLE OTHER SUBCLASS; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PHYSICS; TARIFF METERING APPARATUS; TESTING

Disclosed is a gantry type positioning apparatus correctly detecting a position of a functional element to correctly determine a position in accordance with a detection result. According to the present invention, the gantry type positioning apparatus comprises two linear guides (FX1, FX2) disposed on a base (G) in parallel and supporting first and second cross members (FY1, FY2) to be able to move in a first direction (X). A Y-carriage (LY) including a functional element (T) is supported to the first cross member (FY1) to be able to move in a second direction (Y). A position measurement apparatus (Mxy, Mz, AKz2, Mzy1, AKxy1) to detect a position of the Y-carriage (LY) with respect to the second cross member (FY2) is disposed on the second cross member (FY2) and the Y-carriage (LY). The functional element (T) is supported to the Y-carriage (LY) to be able to move in a third direction (Z) by a Z-carriage (LZ). A different position measurement apparatus (AKxy2, Mxy2, Mxy2′) to detect the position of the functional element (T) with respect to the Y-carriage (LY) is disposed on the Y-carriage (LZ) and the functional element (T). 베이스(G) 상에서 서로 평행하게 배치되며, 제1 크로스 부재(FY1)와 제2 크로스 부재(FY2)를 제1 방향(X)으로 이동 가능하게 지지하는 두 개의 선형 가이드(FX1, FX2)를 포함하는 갠트리 타입의 위치 결정 장치에 있어서, 상기 제1 크로스 부재(FY1)에는 기능적 요소(T)를 포함하는 Y-캐리지(LY)가 제2 방향(Y)으로 이동 가능하게 지지되며, 상기 제2 크로스 부재(FY2) 및 상기 Y-캐리지(LY)에는 제2 크로스 부재(FY2)에 대한 상기 Y-캐리지(LY)의 위치를 검출하는 위치 측정 장치(Mxy, Mz, AKz2, Mxy1, AKxy1)가 배치되는 위치 결정 장치가 개시된다. 상기 기능적 요소(T)는 상기 Y-캐리지(LY)에 대하여 Z-캐리지(LZ)에 의해 제3 방향(Z)으로 이동 가능하게 지지되고, 상기 Y-캐리지(LZ)와 상기 기능적 요소(T)에는 Y-캐리지(LY)에 대한 상기 기능적 요소(T)의 위치를 검출하는 다른 위치 측정 장치(AKxy2, Mxy2, Mxy2')가 배치된다.