TFT GLASS SUBSTRATE FOR TFT

Provided is a glass substrate for a TFT capable of forming a device or a structure rapidly and/or with high precision. The glass substrate (1) for a TFT is formed of a rectangular glass plate (10) having a first main surface (11) and a second main surface (12) which is facing the first main surface...

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Main Authors ONO YOSHITAKA, IKAWA NOBUAKI, KUNIGITA MASAYA, IGA MOTOICHI
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 20.02.2019
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Summary:Provided is a glass substrate for a TFT capable of forming a device or a structure rapidly and/or with high precision. The glass substrate (1) for a TFT is formed of a rectangular glass plate (10) having a first main surface (11) and a second main surface (12) which is facing the first main surface (11). In the view from a plate thickness direction of the glass plate (10), the TFT glass substrate comprises: the first main surface (11); the second main surface (12) which is facing the first main surface (11); a first side (13) which connects the first main surface (11) and the second main surface (12); and a second side (14) which is adjacent to the first side (13), wherein the glass plate (10) is large with the length of each of the first side (13) and the second side (14) of at least 1,200 mm or more. A plate thickness tolerance, which is a difference between Wmax, a maximal value of plate thickness W of the glass plate (10), and Wmin, a minimal value of the plate thickness W, in a first cross section (15), is less than 6.26 μm. 소자나 구조체를 보다 고정밀도로, 및/또는 신속하게 형성할 수 있는 TFT용 유리 기판을 제공한다. TFT용 유리 기판(1)은, 제1 주면(11)과, 제1 주면(11)과 대향하는 제2 주면(12)을 구비한 직사각형의 유리판(10)으로 구성되고, 유리판(10)의 판 두께 방향으로부터의 시야에 있어서, 제1 주면(11)과, 제1 주면(11)과 대향하는 제2 주면(12)과, 제1 주면(11)과 제2 주면(12)을 연결하는 제1 변(13)과, 제1 변(13)에 인접하는 제2 변(14)을 구비하고, 제1 변(13)과 제2 변(14)의 길이가, 적어도 1200㎜ 이상인 대형의 유리판(10)이다. 제1 단면(15)에 있어서의 유리판(10)의 판 두께 W의 최댓값 Wmax와 판 두께 W의 최솟값 Wmin의 차인 판 두께 공차가 6.26㎛ 미만이다.
Bibliography:Application Number: KR20180092884