IMPROVED THERMAL PROCESSING WITH LINE BEAMS

• Main Authors: KENNEDY KEITH W, MARTINSEN ROBERT. J, KARLSEN SCOTT R
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 19.02.2019
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CHEMISTRY; CINEMATOGRAPHY; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; ELECTROGRAPHY; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUSMETALS OR ALLOYS; HOLOGRAPHY; MACHINE TOOLS; MAKING METAL MALLEABLE BY DECARBURISATION, TEMPERING OR OTHERTREATMENTS; MATERIALS THEREFOR; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; METALLURGY; METALLURGY OF IRON; MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; ORIGINALS THEREFOR; PERFORMING OPERATIONS; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SOLDERING OR UNSOLDERING; TRANSPORTING; WELDING; WORKING BY LASER BEAM

다중 빔, 다중 파장 처리 시스템은 기판에 각각의 빔들을 제공하도록 구성된 두 개 이상의 레이저들을 포함한다. 빔들은 파장들, 펄스 지속 시간들, 빔 영역들, 빔 강도들, 펄스 에너지들, 편광들, 반복율 및 독립적으로 선택할 수 있는 다른 빔 속성들을 포함한다. 국부적 가열을 필요로하는 공정에서 기판의 변형은 제 1 파장에서 큰 영역의 빔을 이용하여 먼저 가열하고, 원하는 공정 온도로 국부적 영역을 가열하기 위해, 제 2 파장에서 포커싱된 빔에 노광됨으로써 감소될 수 있다. 일부 처리 과정을 위해, 다중 파장들은 기판 내에서 원하는...