MEMS 구조 및, MEMS 구조를 갖는 정전 용량형 센서, 압전형 센서, 음향 센서

• Main Authors: HORIMOTO YASUHIRO, INOUE TADASHI, MURAKAMI AYUMU
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 11.02.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; DEAF-AID SETS; ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

MEMS 기술을 사용하여 제작한 정전 용량형 센서에 있어서, 높은 SN비를 얻는 것이 가능하고, 또한, 입력 압력에 대한 내성을 높이는 것이 가능한 기술을 제공한다. 다이어프램의 변위를 해당 다이어프램과 상기 백 플레이트 사이의 정전 용량의 변화로 변환하는 정전 용량형 센서에 있어서, 다이어프램 외형의 일부는, 법선 방향에서 볼 때 기판의 개구의 내측에 배치되도록 하고, 다이어프램 외형의 다른 부분은, 법선 방향에서 볼 때 기판의 개구의 외측에 배치되도록 했다. A MEMS structure that includes: a subst...