층의 제조 방법

• Main Author: GHYSELEN BRUNO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 11.02.2019
• Subjects: BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS

본 발명은 AA'BO조성의 층을 제조하는 방법과 관련되며, 여기에서 A는 Li, Na, K, Ca, Mg, Ba, Sr, Pb, La, Bi, Y, By, Gd, Tb, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Ho, Zr, Sc, Ag, Tl으로부터 선택되는 적어도 하나의 원소로 구성되고, B는 Nb, Ta, Sb, Ti, Zr, Sn, Ru, Fe, V, Sc, C, Ga, Al, Si, Mn, Zr, Tl 으로부터 선택되는 적어도 하나의 원소로 구성되며, 상기 방법은, - ABO조성의 도너 기판(100)을 제공하는 단계, - 상기 도너 기판(100)을 박형화(thinning)함에 의해 ABO조성의 층(10)을 형성하는 단계, - 상기 박형화 단계 이전 및/또는 이후에, A와 동일한 원소 군에 속하고 A와는 다른 원소 A'의 이온들을 함유하는 매체(M)에 상기 ABO조성의 층(10)을 노출하되, 상기 이온들이 AA'BO조성의 층을 형성하도록 상기 층(10) 내부로 침투하도록 노출하는 단계를 포함한다. A method for producing a layer of composition AA′BO3, wherein A consists of at least one element selected from the group consisting of: Li, Na, K, Ca, Mg, Ba, Sr, Pb, La, Bi, Y, Dy, Gd, Tb, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Ho, Zr, Sc, Ag and Tl, and B consists of at least one element selected from the group consisting of: Nb, Ta, Sb, Ti, Zr, Sn, Ru, Fe, V, Sc, C, Ga, Al, Si, Mn, Zr and Tl, is described. The method includes providing a donor substrate of composition ABO3, forming a layer of composition ABO3 by thinning the donor substrate, and exposing the layer of composition ABO3 to a medium containing ions of an element A′ belonging to the same list of elements as A, A′ being different from A, such that the ions penetrate into the layer of composition ABO3 to form the layer of composition AA′BO3.