IMPRINT APPARATUS IMPRINT METHOD AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD

• Main Authors: SHINODA KEN ICHIRO, TAMURA MASAHIRO
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 11.02.2019
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

An imprint apparatus includes: a mold holder holding a mold; a substrate holder holding and supporting a substrate; a dispenser disposing an imprint material on the substrate; and a scope imaging a mark. The substrate holder includes a reference plate having a reference mark imaged by the scope, the dispenser is arranged in a first direction when viewed from the mold holder, and the reference plate is disposed between an imaginary straight line parallel to a second direction perpendicular to the first direction when viewed from the mold holder and passing through the center of the substrate holder and an edge of the substrate holder disposed in the first direction when viewed from the imaginary straight line. The present invention provides an advantageous technique for reducing damage to the reference plate. 임프린트 장치는, 몰드를 보유지지하는 몰드 홀더, 기판을 보유지지하는 기판 홀더, 기판 상에 임프린트재를 배치하는 디스펜서, 및 마크를 촬상하는 스코프를 포함한다. 기판 홀더는 스코프에 의해 촬상되는 기준 마크를 갖는 기준 플레이트를 포함하고, 디스펜서는 몰드 홀더로부터 볼 때 제1 방향으로 배치되고, 기준 플레이트는 몰드 홀더로부터 볼 때 제1 방향에 대해 수직한 제2 방향에 평행하고 기판 홀더의 중심을 통과하는 가상 직선과, 가상 직선으로부터 볼 때 제1 방향에 위치되는 기판 홀더의 에지 사이에 배치된다.