Method and workpiece of electroforming

• Main Author: SEONG, NAK HOON
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 16.01.2019
• Subjects: APPARATUS THEREFOR; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; CHEMISTRY; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROFORMING; ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS; METALLURGY; PRINTED CIRCUITS; PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTIONOF COATINGS

According to the present invention, a photosensitive layer is formed on the upper surface of a planar substrate and a protruding portion and a space portion are formed on the photosensitive layer through exposure and development. A vertical growth master and a skeleton master having various three-dimensional surfaces are produced based on the protruding portion. The present invention describes an electroforming mold enabling metal growth in electroforming plating by using the various masters and a method for producing electroforming articles of various shapes. Once electroforming is performed through the vertical growth master of the present invention, the electroforming article rarely grows horizontally and is vertically grown. A stagnant region rises together with the vertical growth of the electroforming article. The present invention can be applied to a three-dimensional electroforming article having a pitch size of tens of micrometers and a line width size of several micrometers or a circuit, a flexible circuit board, a mesh, a filter, a three-dimensional MEMS component, a three-dimensional circuit, a three-dimensional ultra-precision structure, a transparent heat line, a chip-on-film, an electromagnetic wave shielding sheet, and the like. 본 발명은 평면기판의 상부면에 감광층을 형성하고 노광, 현상공정을 통하여 감광층에 돌출부와 공간부를 형성한다. 상기 돌출부를 바탕으로 하여 다양한 3차원 표면을 갖는 골격마스타와 수직성장 마스터를 제작한다. 본 발명은 상기 다양한 마스타를 활용하여 전주도금에서 금속성장을 가능케 하는 전주금형과 다양한 형태의 전주가공물을 제작하는 방법을 설명한다. 본 발명의 수직성장 마스타를 통하여 전주가공을 실행하면, 전주가공물은 수평성장은 거의 하지 않고, 수직성장이 되게 하는 것이 특징이다. 전주가공물이 수직성장이 됨에 따라 정체영역도 상부로 함께 상승한다. 본 발명은 피치의 크기가 수십 마이크로미터, 선 폭의 크기가 수 마이크로미터가 되는 3차원 전주가공물 또는 회로, 플렉시블 회로기판, 메쉬, 필터, 3차원 멤스 부품, 3차원 회로, 3차원 초정밀 구조물, 투명 열선, 칩온 필름, 전자파 차단시트 등에 응용이 될 수가 있다.