기판 온도 모니터링

• Main Authors: RAO SHREESHA Y, WON TAE KYUNG, YADAV SANJAY D, ACHARY UMESHA, JOSHI HIMANSHU
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 09.01.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

본원에 개시된 실시예들은 일반적으로, 기판 지지 어셈블리의 기판 온도 모니터링 시스템에 관한 것이다. 일 실시예에서, 기판 지지 어셈블리는 지지 플레이트 및 기판 온도 모니터링 시스템을 포함한다. 지지 플레이트는, 기판을 지지하도록 구성되는 최상부 표면을 갖는다. 기판 온도 모니터링 시스템은 기판 지지 플레이트에 배치된다. 기판 온도 모니터링 시스템은, 기판의 최하부 표면으로부터 기판의 온도를 측정하도록 구성된다. 기판 온도 모니터링 시스템은, 윈도우, 바디, 및 온도 센서를 포함한다. 윈도우는, 지지 플레이트의 최상부 표면에 일체로 형성된다. 바디는, 최하부 표면을 통해 지지 플레이트에 매립된다. 바디는 내부 통로를 정의한다. 온도 센서는 윈도우 아래에 내부 통로에 배치된다. 온도 센서는 기판의 온도를 측정하도록 구성된다. Embodiments disclosed herein generally relate to a substrate temperature monitoring system in a substrate support assembly. In one embodiment, the substrate support assembly includes a lift pin. The lift pin has a body. The body has an interior passage and a rounded top surface configured for contacting a substrate when in use. A substrate temperature sensor disposed in the interior passage.