SPACE TRANSFORMER FOR DURABILITY ENHACEMENT OF PROBE PIN AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

• Main Author: NOH, TAE HYUNG
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 08.01.2019
• Subjects: ARTIFICIAL STONE; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CEMENTS; CERAMICS; CHEMISTRY; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDINGMATERIALS; CONCRETE; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; LIME, MAGNESIA; MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; METALLURGY; PHYSICS; REFRACTORIES; SEMICONDUCTOR DEVICES; SLAG; TESTING; TREATMENT OF NATURAL STONE

The present invention relates to a space transformer for the durability enhancement of a probe pin and a method of manufacturing the same. According to an embodiment of the present invention, the space transformer for the durability enhancement of the probe pin includes a ceramic substrate composed of a multilayer ceramic thin plate and a ceramic thin plate for fixing a probe pin. The problem of misalignment of via holes can be solved. 본 발명은 프로브 핀의 내구성 강화를 위한 스페이스 트랜스포머 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 스페이스 트랜스포머 제조 방법은 복수의 세라믹 그린 시트를 소성하여 복수의 세라믹 박판을 생성하는 단계, 상기 복수의 세라믹 박판 각각에 비아 홀을 형성하는 단계, 상기 형성된 비아 홀에 도전성 페이스트를 충진하고 열처리하여 비아 전극을 형성하는 단계, 상기 복수의 세라믹 박판 각각의 단면에 도전성 페이스트로 패턴을 인쇄하고 열처리하여 내부 전극을 형성하는 단계, 상기 복수의 세라믹 박판 각각의 단면에 비아 홀을 피해 본딩제를 도포하는 단계, 상기 비아 전극과 상기 내부 전극을 통해 상기 복수의 세라믹 박판 각각이 전기적으로 접속되도록 상기 복수의 세라믹 박판 각각을 정렬하여 적층하는 단계, 상기 적층된 복수의 세라믹 박판을 소성 또는 열처리하여 다층 세라믹 기판을 생성하는 단계, 세라믹 그린 시트를 소성하여 프로브 핀 고정용 세라믹 박판을 생성하는 단계, 상기 프로브 핀 고정용 세라믹 박판에 프로브 핀의 바닥면의 형상을 갖는 홀을 형성하는 단계, 상기 형성된 홀의 측면에 전극 재료를 도포하는 단계, 상기 다층 세라믹 기판의 상부 표면에 상기 홀과 맞닿을 부분을 피해 본딩제를 도포하는 단계, 상기 다층 세라믹 기판의 상부 표면에 형성된 내부 전극과 상기 프로브 핀 고정용 세라믹 박판에 형성된 홀이 맞닿도록 상기 다층 세라믹 기판에 상기 프로브 핀 고정용 세라믹 박판을 적층하는 단계, 상기 적층된 다층 세라믹 기판 및 프로브 핀 고정용 세라믹 박판을 소성 또는 열처리하는 단계, 상기 홀 안에 존재하는 상기 다층 세라믹 기판의 내부 전극 위에 땜납을 형성하는 단계, 상기 홀에 상기 프로브 핀을 삽입하여 상기 땜납을 압착 단계 및 상기 땜납을 열처리하여 상기 프로브 핀을 상기 홀 및 상기 다층 세라믹 기판의 내부 전극에 고정시키는 단계를 포함한다.