TDLAS 시스템 작동의 검증을 위한 방법 및 장치

• Main Authors: GILTNER DAVE, SAPPEY ANDREW D
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 19.12.2018
• Subjects: BLASTING; COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES; HEATING; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; LIGHTING; MEASURING; MECHANICAL ENGINEERING; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL; PHYSICS; REGULATING OR CONTROLLING COMBUSTION; SEPARATION; TESTING; TRANSPORTING; WEAPONS

프로세스 챔버 내의 기체 종 특성의 감지는 그것을 통해 제1 선택된 레이징 주파수의 빔을 선택적으로 투사하는 것을 포함한다. 빔은 기체 종 특성에 의해 유발되는 선택된 레이징 주파수에서의 흡수 딥을 갖는 프로세스 투과 스펙트럼을 검출하기 위해 검출기에 광학적으로 결합된다. 빔은 제1 선택된 레이징 주파수의 빔의 적어도 일부를 부분적으로 반사함과 동시에 빔의 나머지를 통과시키도록 광섬유 코어 내에 형성된 섬유 브래그 격자를 통해 선택적으로 투사된다. 빔의 나머지는 관심 대상의 기체 종 특성에 의해 유발되는 선택된 레이징 주파수에서의 또는 그 부근에서의 흡수 딥을 모사하는 FBG 투과 스펙트럼을 갖는다. 그것은 검출기에 광학적으로 검출된다. FBG 투과 스펙트럼을 프로세스 챔버 내에서 생성되는 임의의 프로세스 투과 스펙트럼과 비교하기 위해 검출기의 출력이 모니터링된다. Sensing of gas species characteristics within a process chamber includes selectively projecting a beam of a first select lasing frequency therethough. The beam is optically coupled to a detector to detect a process transmission spectrum having an absorption dip at a select lasing frequency caused by a gas species characteristic. The beam is selectively projected through a fiber Bragg grating which is formed in an optical fiber core to partially reflect at least a portion of the beam of the first select lasing frequency while passing a remainder of the beam. The remainder of the beam has an FBG transmission spectrum mimicking the absorption dip at or near the select lasing frequency caused by a gas species characteristic of interest. It is optically coupled the detector. Outputs of the detector are monitored to compare the FBG transmission spectrum to any process transmission spectrum produced in the process chamber.