개선된 기판 취급 조립체를 위한 시스템들, 장치, 및 방법들

• Main Author: VELAZQUEZ EDWIN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 17.12.2018
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

본 발명의 실시예들은 개선된 기판 취급 조립체를 위한 시스템들, 장치, 및 방법들을 제공한다. 실시예들은, 한 쌍의 작동 암들; 한 쌍의 기판 포획 선단들 - 각각의 선단은 각각의 작동 암의 상이한 원위 단부에 형성됨 -; 작동 암들의 근위 단부에 결합되고 작동 암들을 작동시키도록 작동하는 작동기; 및 닫힘 위치에서, 작동 암들이, 기판 취급 조립체에 의해 픽업되도록 위치된 기판과 접촉하지 않도록, 작동기가 작동 암들을 미리 정의된 양보다 더 닫는 것을 방지하기 위해 위치된 경질 정지부를 포함한다. 수많은 추가적인 양상들이 개시된다. Embodiments of the present invention provide systems, apparatus, and methods for an improved substrate handling assembly. Embodiments include a pair of actuated arms; a pair of substrate capture tips, each capture tip formed in a different distal end of each actuated arm; an actuator coupled to a proximate end of the actuated arms and operative to actuate the actuated arms; and a hard stop positioned to prevent the actuator from closing the actuated arms more than a predefined amount so that in a closed position, the actuated arms do not contact a substrate positioned to be picked up by the substrate handing assembly. Numerous additional aspects are disclosed.