개선된 이온 소스 리펠러 쉴드

아크 챔버는 몸체에 작동 가능하게 결합된 라이너를 구비한다. 상기 라이너는 제1 표면으로부터 함입된 제2 표면 및 제1 직경을 갖는 홀을 구비한다. 상기 라이너는 상기 제2 표면으로부터 상기 제1 표면을 향해 위로 연장되어 상기 홀을 둘러싸고 제2 직경을 갖는 라이너 립을 구비한다. 전극은 샤프트와 헤드를 구비한다. 상기 샤프트는 제1 직경보다 작은 제3 직경을 갖고 상기 몸체와 상기 홀을 관통하며 환형 갭에 의해 상기 라이너로부터 전기적으로 절연된다. 상기 헤드는 제4 직경을 갖고 제3 표면으로부터 상기 제2 표면을 향해 아래로...

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Main Authors COLVIN NEIL, SILVERSTEIN PAUL, HSIEH TSEH JEN
Format Patent
LanguageKorean
Published 04.12.2018
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Summary:아크 챔버는 몸체에 작동 가능하게 결합된 라이너를 구비한다. 상기 라이너는 제1 표면으로부터 함입된 제2 표면 및 제1 직경을 갖는 홀을 구비한다. 상기 라이너는 상기 제2 표면으로부터 상기 제1 표면을 향해 위로 연장되어 상기 홀을 둘러싸고 제2 직경을 갖는 라이너 립을 구비한다. 전극은 샤프트와 헤드를 구비한다. 상기 샤프트는 제1 직경보다 작은 제3 직경을 갖고 상기 몸체와 상기 홀을 관통하며 환형 갭에 의해 상기 라이너로부터 전기적으로 절연된다. 상기 헤드는 제4 직경을 갖고 제3 표면으로부터 상기 제2 표면을 향해 아래로 연장되는 전극 립을 구비하는 제3 표면을 구비한다. 상기 전극 립은 상기 제2 직경과 제4 직경 사이의 제5 직경을 갖는다. 상기 라이너 립과 전극 립 사이의 간극은 라비린스 씰을 규정하고 일반적으로 상기 환형 갭으로 오염 물질이 들어가는 것을 방지한다. 상기 샤프트는 질화 붕소 씰을 수용하도록 구성된 환형 그루브를 구비한다. An arc chamber liner has first and second surfaces and a hole having a first diameter. A liner lip having a second diameter extends upwardly from the second surface toward the first surface and surrounds the hole. An electrode has a shaft with a third diameter and a head with a fourth diameter. The third diameter is less than the first diameter and passes through the body and hole and is electrically isolated from the liner by an annular gap. The head has a third surface having an electrode lip extending downwardly from the third surface toward the second surface. The electrode lip has a fifth diameter between the second and fourth diameters. A spacing between the liner and electrode lips defines a labyrinth seal to generally prevent contaminants from entering the annular gap. The shaft has an annular groove configured to accept a boron nitride seal.
Bibliography:Application Number: KR20187030378