타겟 다이와 기준 다이의 비교로부터 생성된 차분 이미지를 보정하기 위한 시스템, 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품

• Main Author: PLIHAL MARTIN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 03.12.2018
• Subjects: CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

타겟 다이와 기준 다이의 비교로부터 생성된 차분 이미지를 보정하기 위한 시스템, 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품이 제공된다. 사용시, 각각의 관심 패턴에 대해 제 1 대표 이미지를 생성하기 위해 타겟 다이 이미지의 인트라 다이 검사가 수행된다. 각각의 관심 패턴에 대해 제 2 대표 이미지를 생성하기 위해 기준 다이 이미지의 인트라 다이 검사가 수행된다. 또한, 타겟 다이 이미지와 기준 다이 이미지를 비교하여 적어도 하나의 차분 이미지를 생성하고, 적어도 하나의 차분 이미지는 생성된 각각의 제 1 대표 이미지 및 생성된 각각의 제 2 대표 이미지를 사용하여 보정된다. 그런 다음, 보정된 차분 이미지를 사용하여 검출이 수행된다. A system, method, and computer program product are provided for correcting a difference image generated from a comparison of target and reference dies. In use, an intra-die inspection of a target die image is performed to generate, for each pattern of interest, a first representative image. An intra-die inspection of a reference die image is performed to generate, for each of the patterns of interest, a second representative image. Further, the target die image and the reference die image are compared to generate at least one difference image, and the at least one difference image is corrected using each of the generated first representative images and each of the generated second representative images. Detection is then performed using the corrected difference image.