MULTI-ANALYZER ANGLE SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY

향상된 안정성들을 갖는 엘립소메트리(ellipsometry) 시스템들 및 엘립소메트리 데이터 수집 방법들이 개시된다. 본 개시물에 따라, 다수의 미리 결정된 이산 분광기 각도들이 단일 측정을 위한 엘립소메트리 데이터를 수집하는데 이용되며, 데이터 회귀(data regression)가 이들 미리 결정된 이산 분광기 각도들에서 수집된 엘립소메트리 데이터에 기반하여 수행된다. 단일 측정을 위해 다수의 이산 분광기 각도들을 이용하는 것은 엘립소메트리 시스템의 안정성을 향상시킨다. Ellipsometry systems and ellipsom...

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Main Authors KAACK TORSTEN, DIXON WARD, POSLAVSKY LEONID, KWAK HINDONG
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 11.10.2018
Subjects
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
MEASURING
PHYSICS
TESTING
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Summary:향상된 안정성들을 갖는 엘립소메트리(ellipsometry) 시스템들 및 엘립소메트리 데이터 수집 방법들이 개시된다. 본 개시물에 따라, 다수의 미리 결정된 이산 분광기 각도들이 단일 측정을 위한 엘립소메트리 데이터를 수집하는데 이용되며, 데이터 회귀(data regression)가 이들 미리 결정된 이산 분광기 각도들에서 수집된 엘립소메트리 데이터에 기반하여 수행된다. 단일 측정을 위해 다수의 이산 분광기 각도들을 이용하는 것은 엘립소메트리 시스템의 안정성을 향상시킨다. Ellipsometry systems and ellipsometry data collection methods with improved stabilities are disclosed. In accordance with the present disclosure, multiple predetermined, discrete analyzer angles are utilized to collect ellipsometry data for a single measurement, and data regression is performed based on the ellipsometry data collected at these predetermined, discrete analyzer angles. Utilizing multiple discrete analyzer angles for a single measurement improves the stability of the ellipsometry system.
Bibliography:Application Number: KR20187028694