용량성 DOE 무결성 모니터

• Main Authors: KRIMAN MOSHE, MAGEN ADAR, SAWYER KEVIN A, NOBLE HANNAH D, ADAMCYK MARTIN B, QU YU QIAO, ALNAHHAS YAZAN Z
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 23.08.2018
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; TESTING

광학 모듈은 제1 및 제2 투명 기판들(22, 23, 40, 42, 82, 84), 및 제1 투명 기판을 제2 투명 기판에 근접하게 유지하는 제1 투명 기판과 제2 투명 기판 사이의 스페이서(24, 44, 86)를 포함하며, 제1 및 제2 투명 기판들의 각자의 면들 상에 제1 및 제2 회절 광학 요소(diffractive optical element, DOE)들(25, 26, 54, 56, 100, 102)이 있다. 적어도 제1 및 제2 커패시턴스 전극들(28, 29, 46, 48, 104, 106)이 제1 및 제2 DOE들에 근접하게 제1 및 제2 투명 기판들 상에 각각 배치된다. 회로부(34, 66, 96)가 적어도 제1 커패시턴스 전극과 제2 커패시턴스 전극 사이의 커패시턴스의 변화를 측정하도록 결합된다. An optical module includes first and second transparent substrates and a spacer between the first and second transparent substrates, holding the first transparent substrate in proximity to the second transparent substrate, with first and second diffractive optical elements (DOEs) on respective faces of the first and second transparent substrates. At least first and second capacitance electrodes are disposed respectively on the first and second transparent substrates in proximity to the first and second DOEs. Circuitry is coupled to measure changes in a capacitance between at least the first and second capacitance electrodes.