Method and workpiece of electroforming

• Main Author: SEONG, NAK HOON
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 08.08.2018
• Subjects: APPARATUS THEREFOR; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; CHEMISTRY; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROFORMING; ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS; METALLURGY; PRINTED CIRCUITS; PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTIONOF COATINGS

The present invention relates to a mold manufactured by electroforming, which does not control growth in a height direction, but controls growth in a lateral direction, and a manufacturing method thereof. According to the present invention, the mold manufactured by electroforming comprises: a step of forming a photosensitive layer on a substrate; a step of forming a protrusion part and a space part in the photosensitive layer through exposure and development processes, wherein the lower width of the space part is developed in a taper shape with a wider lower width than that of an upper width of the space part; a step of performing sputtering on the protrusion part and the space part; a step of forming an electroforming workpiece in a sputtered part through electroforming; and a step of removing the substrate and a photosensitive material from the electroforming workpiece to form a first type mold. 본 발명은 피치의 크기가 수십 마이크로미터, 선 폭의 크기가 수 마이크로미터가 되는 3차원 전주가공물 또는 회로, 플렉시블 회로기판, 메쉬, 필터, 3차원 멤스 부품, 3차원 회로, 3차원 초정밀 구조물, 투명 열선, 칩온 필름, 전자파 차단시트 등을 제작하는 기술에 대한 것이다. 이들은 주로 금형을 만들어 생산을 한다. 금형이 전주도금이 가능하도록 만들어진 것을 본 발명에서는 전주금형이라 칭한다. 본 발명에서는 전주금형을 사용하면 성장하는 전주가공물이 수직방향으로 성장을 하도록 하는 수직성장 전주도금을 개시한다. 본 발명은 제품과 제품을 만드는 금형과 그 제작방법 및 그 방법으로 이루어진 물품에 대한 내용을 청구범위로 한다. 본 발명에서 가장 기본적인 전주금형을 제작하는 방법으로 가장 먼저, 기판에 감광층을 형성한다. 상기 감광층에 노광 및 현상공정을 통하여 기판에 돌출부와 공간부를 형성하되, 돌출부의 상부폭은 돌출부의 하부폭에 비하여 좁은 형태로 되어 탈형이 용이하게 되도록 하는 테이퍼 형상이 되도록 한다. 본 발명에서 사용되는 전주금형은 돌출부와 공간부를 갖는다. 상기 공간부에는 비도전성 물질로 충진 또는 코팅 또는 도포를 한다. 상기 충진 또는 코팅 또는 도포된 비도전성 물질은 공간부의 저부와 측면벽면에 도금이 형성되지 않도록 한다. 비도전성 물질은 주로 공간부에서 포물선 형태로 구성된다. 깊은 포물선 형태로 구성되면 도금용액이 포물선 형태 내부에 갇히어 정체영역이 형성된다. 본 발명의 수직성장 전주금형은 이러한 정체영역을 구성하는 것이 특징이다. 본 발명의 수직성장 전주금형을 통하여 전주가공을 실행하면, 전주가공물은 수직성장을 위주로 하며, 수평성장은 조금씩 이루어진다. 전주가공물이 수직성장이 됨에 따라 정체영역도 상부로 함께 상승하는 것을 특징으로 한다.