Differential pressure Mass Flow Meter and Mass Flow Controller which can compensation external force

• Main Authors: SHIM, JUNG SEOP, MIN, BYUNG KWANG
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 01.08.2018
• Subjects: MEASURING; MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUIDLEVEL; METERING BY VOLUME; PHYSICS; TESTING

A differential pressure flow meter which can compensate an external force is provided. According to an embodiment of the present invention, the differential pressure flow meter which can compensate an external force comprises: a body unit acquiring a fluid from the outside, and having a flow path to discharge the acquired fluid to the outside; and an external force compensation measurement unit acquiring a fluid from the flow path to measure pressure of the fluid through a differential pressure sensor. The external force compensation measurement unit is coupled to the body unit with a rotating member, and changes a direction of the differential pressure sensor through rotation of the rotating member. 외력 보상이 가능한 차압식 유량계가 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 유량계는, 차압식 유량계에 있어서, 외부로부터 유체를 획득하고, 획득한 상기 유체를 외부로 배출하기 위한 유로를 포함하는 몸체부; 및 상기 유로로부터 유체를 획득하여 차압 센서를 통해 상기 유체의 압력을 측정하는 외력 보상 측정부;를 포함하며, 상기 외력 보상 측정부는, 회전 부재를 이용하여 상기 몸체부와 결합하고, 상기 차압 센서의 방향을 상기 회전 부재의 회전을 통해 변경한다.