측정 기판 및 측정 방법

• Main Authors: BLOKS RUUD HENDRIKUS MARTINUS JOHANNES, NEEFS PATRICIUS JACOBUS, NIHTIANOV STOYAN, LAURENT THIBAULT SIMON MATHIEU, MAKINWA KOFI AFOLABI ANTHONY, VERMEULEN JOHANNES PETRUS MARTINUS BERNARDUS, DE LA ROSETTE JOHANNES PAUL MARIE
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 25.07.2018
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

작동 중 생산 기판을 처리하는 장치에 속하는 상태를 측정하기 위한 측정 기판으로서, 상기 측정 기판은, 상기 측정 기판이 상기 장치와 양립할 수 있도록 생산 기판의 치수와 유사한 치수를 갖는 본체; 상기 본체 내의 복수의 센서 모듈 - 각각의 센서 모듈은, 아날로그 측정 신호를 생성하도록 구성된 센서로서, 적어도 하나의 온도 센서 또는 스트레인 센서(strain sensor)를 포함하는 센서; 상기 아날로그 측정 신호로부터 디지털 측정 정보를 생성하도록 구성된 아날로그-디지털 변환기; 및 상기 디지털 측정 정보를 출력하도록 구성된 모듈 제어기 -; 및 상기 모듈 제어기들 각각으로부터 상기 디지털 측정 정보를 수신하고 상기 디지털 측정 정보를 외부 장치와 통신하도록 구성된 중앙 제어 모듈 을 포함한다. A measurement substrate for measuring a condition pertaining in an apparatus for processing production substrates during operation thereof, the measurement substrate including: a body having dimensions compatible with the apparatus; a plurality of sensor modules embedded in the body, each sensor module having: a sensor configured generate an analog measurement signal, an analog to digital converter to generate digital measurement information from the analog measurement signal, and a module controller configured to output the digital measurement information; and a central control module configured to receive the digital measurement information from each of the module controllers and to communicate the digital measurement information to an external device.