마이크로 기계식 요 레이트 센서 및 그 작동 방법

• Main Authors: PRUETZ ODD AXEL, HEUCK FRIEDJOF, MAUL ROBERT, SCHMIDT BENJAMIN, HATTASS MIRKO, NEUL REINHARD, SCHEBEN ROLF, HOEPPNER CHRISTIAN, OHMS TORSTEN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 25.07.2018
• Subjects: GYROSCOPIC INSTRUMENTS; MEASURING; MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; NAVIGATION; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY; PHYSICS; SURVEYING; TESTING

본 발명은 제 1 코리올리 소자(110), 상기 제 1 코리올리 소자(110)를 따라 배치되며 제 1 스프링(114)을 통해 상기 제 1 코리올리 소자(110)에 결합된 제 1 구동 바(113), 및 제 1 구동 바(113)로부터 상기 제 1 코리올리 소자(120)와 반대 방향으로 연장되고 상기 제 1 구동 바(113)에 대해 평행하게 연장하는 다수의 제 1 구동 전극(138, 139)을 지지하는 제 1 구동 전극 캐리어(136, 137)를 포함하는 마이크로 기계식 요 레이트 센서(100)에 관한 것이다. 다른 관점 하에서, 이러한 마이크로 기계식 요 레이트 센서(100)의 작동 방법이 제공된다. A micromechanical rate-of-rotation sensor includes a first Coriolis element. The micromechanical rate-of-rotation sensor further includes a first drive beam arranged along the first Coriolis element. The first drive beam is coupled via a first spring to the first Coriolis element. The micromechanical rate-of-rotation sensor further includes a first drive electrode carrier extending from the first drive beam in a direction opposite to the first Coriolis element. The first drive electrode carrier is configured to carry a multiplicity of first drive electrodes extending parallel to the first drive beam.