WORK POLISHING HEAD

• Main Authors: SHIBUYA KAZUTAKA, FUSE TAKAYUKI, TSUKADA MASAYUKI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 18.07.2018
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS; GRINDING; MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; PERFORMING OPERATIONS; POLISHING; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

The present invention a polishing head capable of following a carrier well corresponding to a surface state of a polishing pad and polishing a work at good precision. According to the present invention, the polishing head comprises: a head body (12); a carrier connected to the head body (12) through a flexible diaphragm (16) and holding the work on a lower surface side; a pressure chamber (18) formed by being surrounded by the lower surface of the head body (12), the diaphragm (16), and the upper surface of the carrier (14); a fluid supply unit (47) to supply a fluid to the pressure chamber (18); a linear movement guide (40) including an outer cylindrical body (41) fixed on a rotary axis of the head body (12), and a spline shaft (42) disposed in the outer cylindrical body (41) to freely move in an axial direction and restrict rotation on the axial line with respect to the outer cylindrical body (41), and transferring rotational force of the head body (12) through the outer cylindrical body (41); and a rotation transfer plate (45) disposed between the bottom part of the spline shaft and the upper surface of the carrier (14), holding the carrier (14) to be able to be freely tilted, and transferring rotational force of the spline shaft to the carrier (14). 본 발명은 캐리어를 연마 패드의 표면 상태에 응하여 양호하게 추종 가능하고, 워크를 정밀도 좋게 연마할 수 있는 연마 헤드를 제공하는 것으로서, 헤드 본체(12)와, 헤드 본체(12)에 플렉시블한 다이어프램(16)을 통하여 연결되고, 하면측에 워크를 유지하는 캐리어(14)와, 헤드 본체(12) 하면, 다이어프램(16) 및 캐리어(14) 상면으로 둘러싸여서 마련된 압력실(18)과, 압력실(18)에 유체를 공급하는 유체 공급부(47)와, 헤드 본체(12)의 회전축선상에 고정된 외측 통체(41) 및 외측 통체(41) 내에 축선 방향으로 가동 자유롭게, 또한 외측 통체(41)에 대해 축선을 중심으로 하는 회전이 규제되어 배설되고, 헤드 본체(12)의 회전력이 상기 외측 통체(41)를 통하여 전달되는 스플라인축(42)을 갖는 직동 가이드(40)와, 스플라인축(42)의 하단부와 캐리어(14) 상면과의 사이에 배설되고, 캐리어(14)를 경동 자유롭게 유지함과 함께, 스플라인축(42)의 회전력을 캐리어(14)에 전달하는 회전 전달판(45)을 구비한다.