3 Measuring System and Measuring Method For 3D Chemical Composition Image

• Main Authors: NAM, YUN SIK, LEE, JI HYE, TANGUY TERLIER, LEE, KANG BONG, LEE, YEON HEE
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 19.06.2018
• Subjects: APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBEMICROSCOPY [SPM]; MEASURING; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; TESTING

The present invention relates to a system and a method for measuring a three-dimensional chemical composition image capable of providing a three-dimensional chemical composition image which is accurate and has a less error. According to an embodiment of the present invention, the system for measuring a three-dimensional chemical composition image comprises: a surface image measuring unit measuring a surface image of a target material; a two-dimensional image measuring unit including a sputtering part which sputters a surface of the target material and an ion image measuring part which measures a plurality of two-dimensional ion images according to a depth direction of the target material before and after sputtering; and a three-dimensional image calculating unit calculating the three-dimensional chemical composition image by the surface image measured by the surface image measuring unit and the two-dimensional ion image according to the depth direction of the ion image measuring unit. 본 발명은 3차원 화학성분 이미지 측정 시스템 및 측정 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 3차원 화학성분 이미지 측정 시스템은, 대상 물질의 표면 이미지를 측정하는 표면 이미지 측정 유닛, 대상 물질의 표면을 스퍼터링 하는 스퍼터링 부와 스퍼터링 전과 후의 대상 물질의 깊이 방향에 따른 복수의 2차원 이온 이미지를 측정하는 이온 이미지 측정부를 포함하는 2차원 이미지 측정 유닛, 및 상기 표면 이미지 측정 유닛에 의해 측정된 표면 이미지와 상기 이온 이미지 측정 유닛에 깊이 방향에 따른 2차원 이온 이미지에 의하여 3차원 화학성분 이미지를 산출하는 3차원 이미지 산출 유닛을 포함한다.