가요성 층 스택을 제조하기 위한 방법 및 장치, 및 가요성 층 스택

본 개시내용은 가요성 층 스택(100)을 제조하기 위한 방법을 제공한다. 방법은, 가요성 기판(101)을 제공하는 단계(310); 가요성 기판(101) 위에 제1 재료를 포함하는 제1 층(110)을 증착하는 단계(320); 제1 층(110) 위에 제2 재료를 포함하는 제2 층(120)을 증착하는 단계(330); 및 가요성 기판(101)을 제거하는 단계(340)를 포함한다. The present disclosure provides a method for manufacturing a flexible layer stack (100). T...

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Main Author DEPPISCH THOMAS
Format Patent
LanguageKorean
Published 11.06.2018
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Summary:본 개시내용은 가요성 층 스택(100)을 제조하기 위한 방법을 제공한다. 방법은, 가요성 기판(101)을 제공하는 단계(310); 가요성 기판(101) 위에 제1 재료를 포함하는 제1 층(110)을 증착하는 단계(320); 제1 층(110) 위에 제2 재료를 포함하는 제2 층(120)을 증착하는 단계(330); 및 가요성 기판(101)을 제거하는 단계(340)를 포함한다. The present disclosure provides a method for manufacturing a flexible layer stack (100). The method includes: providing (310) a flexible substrate (101); depositing (320) a first layer (110) including a first material over the flexible substrate (101); depositing (330) a second layer (120) including a second material over the first layer (110); and removing (340) the flexible substrate (101).
Bibliography:Application Number: KR20187012582