CVD 반응기 내의 전극 홀더를 절연 및 실링하기 위한 장치

• Main Authors: RENNSCHMID DOMINIK, KUTZA CHRISTIAN, KRAUS HEINZ
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 23.05.2018
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; COMPOUNDS THEREOF; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; INORGANIC CHEMISTRY; METALLURGY; NON-METALLIC ELEMENTS; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

본 발명은 필라멘트 로드를 수용하기에 적합하고, 베이스 플레이트의 리세스 내에 장착되는 전기 전도성 재료로 제조되는 전극 홀더 상에 배치되는 전극을 포함하는 CVD 반응기에서 전극 홀더를 절연 및 실링하기 위한 장치에 관한 것이고, 여기서 전극 홀더와 베이스 플레이트 사이에는 전기 절연 링이 제공되고, 상기 링은 실온에서 0.2 내지 50 W/mK의 비열전도율, 120 MPa를 초과하는 최소 굴곡 강도, 및 실온에서 109 Ωcm를 초과하는 전기 비저항을 갖는 재료로 제조되고, 전극 홀더와 베이스 플레이트 사이에서 실링을 위해 2 개 이상의 환형 실링 요소가 제공되고, 전기 절연 링 또는 전극 홀더 또는 베이스 플레이트는 제 1 실링 요소가 내부에 고정되는 하나 이상의 그루브를 갖고, 그루브 내에 고정되지 않은 하나 이상의 제 2 실링 요소는 전기 절연 링과 베이스 플레이트 사이 또는 전기 절연 링과 전극 홀더 사이에 제공된다. Improved sealing of Siemens reactor electrodes which results in improved reactor campaign times, is accomplished by use of an electrically insulating ring in combination with two seals, a first seal located in a groove in the insulating ring or in a groove in the reactor base plate adjacent the insulating ring, and a second seal not contained in a groove.