감쇠 장치 및 방법

방사선의 세기를 조정하는 장치(60)가 개시된다. 상기 장치는 방사선 빔(B)을 수용하고, 제 1 반사된 방사선 빔(B)의 형태로 제 1 방향으로 방사선 빔의 적어도 일부분을 지향하는 격자(61), 및 반사된 방사선 빔의 세기를 변동시키기 위해, 격자를 회전시켜 격자의 표면과 방사선 빔 사이의 스침 각도를 조정하도록 작동가능한 1 이상의 제 1 액추에이터를 포함한다. An apparatus (60) for adjusting an intensity of radiation. The apparatus comprises a grating...

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Main Authors DE VRIES GOSSE CHARLES, NIENHUYS HAN KWANG
Format Patent
LanguageKorean
Published 10.05.2018
Subjects
APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
CINEMATOGRAPHY
ELECTROGRAPHY
HOLOGRAPHY
MATERIALS THEREFOR
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
OPTICS
ORIGINALS THEREFOR
PHOTOGRAPHY
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES
PHYSICS
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Summary:방사선의 세기를 조정하는 장치(60)가 개시된다. 상기 장치는 방사선 빔(B)을 수용하고, 제 1 반사된 방사선 빔(B)의 형태로 제 1 방향으로 방사선 빔의 적어도 일부분을 지향하는 격자(61), 및 반사된 방사선 빔의 세기를 변동시키기 위해, 격자를 회전시켜 격자의 표면과 방사선 빔 사이의 스침 각도를 조정하도록 작동가능한 1 이상의 제 1 액추에이터를 포함한다. An apparatus (60) for adjusting an intensity of radiation. The apparatus comprises a grating (61) for receiving a radiation beam (Ba) and for directing at least a portion of the radiation beam in a first direction in the form of a first reflected radiation beam (Ba0), and one or more first actuators operable to rotate the grating to adjust a grazing angle between the radiation beam and a surface of the grating so as to vary an intensity of the reflected radiation beam.
Bibliography:Application Number: KR20187009278