자동차 애플리케이션을 위한 2축 초내구성 요레이트 센서

• Main Authors: BALSLINK THORSTEN, SCHMIDT BENJAMIN, LASSL ANDREAS, HATTASS MIRKO, KUHLMANN BURKHARD, HOEPPNER CHRISTIAN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 03.05.2018
• Subjects: GYROSCOPIC INSTRUMENTS; MEASURING; MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; NAVIGATION; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY; PHYSICS; SURVEYING; TESTING

본 발명은, 주 연장 평면을 구비한 기판과; 주 연장 평면에 대해 평행하게 연장되는 제1 축에 대해 실질적으로 평행한 축을 중심으로 하는 요레이트 센서의 제1 요레이트를 검출하기 위한 하나 이상의 제1 요레이트 센서 구조와; 주 연장 평면에 대해 수직으로 연장되는 제2 축에 대해 실질적으로 평행한 축을 중심으로 하는 요레이트 센서의 제2 요레이트를 검출하기 위한 하나 이상의 제2 요레이트 센서 구조를; 포함하는 요레이트 센서에 관한 것이며, 상기 요레이트 센서는, 제1, 제2, 제3 및 제4 구조가 기계적으로 결합된 진동을 하도록 여기될 수 있는 방식으로, - 기판에 상대적으로 이동 가능한, 제1 요레이트 센서 구조의 하나 이상의 제1 구조, 및 기판에 상대적으로 그리고 제1 구조에 상대적으로 이동 가능한, 제1 요레이트 센서 구조의 하나 이상의 제2 구조를 편향시킬 뿐 아니라, - 기판에 상대적으로 이동 가능한, 제2 요레이트 센서 구조의 하나 이상의 제3 구조, 및 기판에 상대적으로 그리고 제3 구조에 상대적으로 이동 가능한, 제2 요레이트 센서 구조의 하나 이상의 제4 구조도 편향시키기 위한 구동 장치를 포함한다. A rotation rate sensor including a substrate having a main plane of extension, a first rotation rate sensor structure for detecting a first rotation rate about an axis that is in parallel to a first axis extending in parallel to the main plane of extension, and a second rotation rate sensor structure for detecting a second rotation rate about an axis that is parallel to a second axis extending perpendicularly with respect to the main plane of extension. Also included is drive device for deflecting a first structure of the first rotation rate sensor structure, and a second structure of the first rotation rate sensor structure, and also for deflecting a third structure of the second rotation rate sensor structure, and a fourth structure of the second rotation rate sensor structure, in such a way that the first, second, third, and fourth structures are excitable into a mechanically coupled oscillation.