분류 시스템

• Main Authors: KANAI YOSHITOMO, NAKAMURA TAKESHI
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 02.05.2018
• Subjects: CONTROLLING; PHYSICS; REGULATING; SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES

배치의 자유도가 높아지고, 집적화에 알맞고, 제조 코스트 및 메인티넌스 코스트가 저감된 분류 시스템을 제공한다. 단일의 유량을 복수의 유량으로 분할하고, 분할된 유량의 비가 설정 유량비가 되도록 각 유량을 제어하는 분류 시스템으로서, 단일의 유량을 복수의 유량으로 분할하는 매니폴드(500)와, 매니폴드(500)와는 별개로 형성되고, 복수의 유량을 각각 제어하는, 서로 분리 독립된 복수의 유체 제어장치(1M, 1S)를 갖고, 마스터 장치(1M)는, 설정 유량비에 근거한 설정 유량값을 슬레이브 장치(1S)에 송신하는 동시에, 슬레이브 장치(1S)의 유량 검출값 DQ2를 수신하는 통신부(102M)를 갖고, 슬레이브 장치(1S)는, 마스터 장치(1M)로부터 설정 유량값을 수신하는 동시에 유량 검출값 DQ2를 마스터 장치(1M)에 송신하는 통신부(102S)를 가진다. To provide a flow dividing system that has an improved degree of freedom in arrangement, is suitable for integration, and achieves reductions in the manufacturing costs and maintenance costs. A flow dividing system for controlling, upon dividing a single flow rate into multiple flow rates, the respective flow rates such that the ratio between the divided flow rates matches a preset flow rate ratio. The flow dividing system has: a manifold 500 for dividing the single flow rate into the multiple flow rates; and multiple fluid control devices 1M, 1S that are formed as separate bodies from the manifold 500, are disposed separately from and independently of each other, and respectively control the multiple flow rates. A master device 1M has communication unit 102M for transmitting a preset flow rate value based on the preset flow rate ratio to a slave device 1S and for receiving a flow rate detection value DQ2 from the slave device 1S, and the slave device 1S has a communication unit 102S for receiving the preset flow rate value from the master device 1M and for transmitting the flow rate detection value DQ2 to the master device 1M.