모노 펌프에 의한 급송을 포함하는 분사 분배 시스템 및 관련 방법

• Main Authors: CROWELL CUTLER III, LEWIS ALAN R
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 09.04.2018
• Subjects: APPARATUS FOR APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TOSURFACES, IN GENERAL; APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL; BLASTING; HEATING; LIGHTING; MECHANICAL ENGINEERING; PERFORMING OPERATIONS; POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENTMACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENTPUMPS; SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; TRANSPORTING; WEAPONS

분사 분배 시스템은 유체 챔버와 밸브 요소를 구비하는 분배기 본체, 및 유체 챔버 내로 유체를 급송하기 위한 모노 펌프를 포함한다. 모노 펌프는 분배기 본체의 유체 유입구 및 유체 챔버에서 유입 유체 압력을 발생시키고 유지하도록 그 세장형 길이를 따라서 유체의 복수의 분리된 캐비티를 전파한다. 따라서, 분사 분배 사이클에서 밸브 요소를 작동시키는 것으로부터 발생된 액적은 유체 점도에서의 변화 및 분사 분배 시스템의 작동 속도에서의 변화에 관계없이 유체의 체적을 한정한다. 또한, 분배기 본체를 빠져나가는 유체의 속도 프로파일은 유체 입자를 손상시키고 및/또는 기판을 향해 비행하는 액적의 회전 텀블링 및 개화를 유발할 수 있는 유체 속도에서의 변화를 유발하는 것을 피하도록 더욱 일정할 수 있다. A jetting dispensing system includes a dispenser body with a fluid chamber and a valve element, and a progressive cavity pump for feeding fluid into the fluid chamber. The progressive cavity pump propagates a plurality of separated cavities of fluid along an elongate length thereof to generate and maintain an incoming fluid pressure at a fluid inlet and the fluid chamber of the dispenser body. Accordingly, the droplets that are generated from operating the valve element in jetting dispensing cycles may define a volume of fluid, regardless of variations in fluid viscosity and variations in operational speed of the jetting dispensing system. Furthermore, the velocity profile of fluid exiting the dispenser body may be more constant to avoid causing changes in fluid velocity that can damage fluid particles and/or cause rotational tumbling or blossoming of the droplet while in flight towards the substrate.