2 METHOD OF INSPECTING GAS SUPPLY SYSTEM METHOD OF CALIBRATING FLOW CONTROLLER AND METHOD OF CALIBRATING SECONDARY REFERENCE DEVICE

• Main Authors: AMIKURA NORIHIKO, MIYOSHI RISAKO
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 23.03.2018
• Subjects: ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVEREDIN A SINGLE OTHER SUBCLASS; CONTROLLING; MEASURING; MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUIDLEVEL; METERING BY VOLUME; PHYSICS; REGULATING; SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES; TARIFF METERING APPARATUS; TESTING

A gas supply system is inspected with high accuracy. According to one embodiment, an inspection method of a gas supply system comprises: a first process of connecting a reference device to the other end of a connection pipe; a second process of supplying gas into a pipe from one flow controller in a state where a first valve is opened and another first valve, a second valve and a third valve are closed; a third process of acquiring measurement values of a first pressure gauge and a first thermometer after closing the first valve; a fourth process of supplying part of the gas in the pipe into a tank by opening the third valve; a fifth process of acquiring measurement values of the first pressure gauge and the first thermometer, or measurement values of a second pressure gauge and a second thermometer; and a sixth process of calculating the measurement values acquired in the third process, the measurement values acquired in the fifth process, and a volume of the pipe based on a volume of a closed space including a space in the tank when the third valve is closed, by using Boyle-Charles′ law. 높은 정밀도로 가스 공급계를 검사한다. 일 양태에 관한 방법은, 접속관의 타단에 기준기를 접속하는 제1 공정과, 하나의 제1 밸브가 개방되고, 다른 제1 밸브, 제2 밸브 및 제3 밸브가 폐쇄된 상태에서, 하나의 유량 제어기로부터 배관 내에 가스를 공급하는 제2 공정과, 하나의 제1 밸브를 폐쇄한 후에, 제1 압력계 및 제1 온도계의 측정값을 취득하는 제3 공정과, 제3 밸브를 개방하여 배관 내의 가스의 일부를 탱크 내에 공급하는 제4 공정과, 제1 압력계 및 제1 온도계의 측정값, 또는 제2 압력계 및 제2 온도계의 측정값을 취득하는 제5 공정과, 보일·샤를의 법칙을 이용하여, 제3 공정에서 취득된 측정값과, 제5 공정에서 취득된 측정값과, 제3 밸브가 폐쇄되어 있을 때의 탱크 내의 공간을 포함하는 폐쇄 공간의 용적에 기초하여 배관의 용적을 산출하는 제6 공정을 포함한다.