연속적인 펄스 모드 동작을 위한 통합형 RF 전력 전달 단일 입력 및 다중 출력 제어

• Main Authors: REINHARDT ROSS, ELNER YURIY, COUMOU DAVID J, GILL DANIEL M
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 22.02.2018
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS

본 발명은, RF 신호를 출력하는 전력 증폭기와 제어기를 더 포함하는 RF 생성기를 포함하는 무선 주파수(RF) 제어 시스템에 관한 것이다. 정합 네트워크가 상기 RF 신호를 수신하고, 복수의 RF 출력 신호들을 생성한다. 상기 정합 네트워크는 상기 복수의 RF 출력 신호들 중 제 1 RF 출력 신호와 상기 복수의 RF 출력 신호들 중 제 2 RF 출력 신호 간의 전력 비율을 변화시키는 비율 튜닝 요소를 포함한다. 제 1 제어기는 비율 제어 신호를 정합 네트워크에 전달하고, 정합 네트워크는 상기 비율 제어 신호에 따라서 비율 튜닝 요소를 제어한다. 상기 제어기는 또한 펄스 에지의 상승 또는 하강, 또는 펄스 에지의 증분적 변화의 레벨 또는 지속 기간을 제어한다. A radio frequency (RF) control system including a RF generator having a power amplifier that outputs a RF signal and a controller. A matching network receives the RF signal and generates a plurality of RF output signals. The matching network includes a ratio tuning element to vary a ratio of power between the plurality of RF output signals. The first controller communicates a ratio control signal to the matching network, and the matching network controls the ratio tuning element in accordance with the ratio control signal. The RF controls system operates in a continuous and pulse mode of operation. The controller can also control the rise or fall of a pulse edge or a level or duration of incremental changes in the pulse edge.