이미징 장치

• Main Authors: AKNIN OFER, RUBIN BEN HAIM NIR, KASHTI TAMAR, NAGLER MICHAEL, LANDA BENZION, YOGEV RONEN, TZUR ITAI
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 07.02.2018
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS; ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; HOLOGRAPHY; i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; LINING MACHINES; MAGNETOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PERFORMING OPERATIONS; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; PRINTING; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS; STAMPS; TRANSPORTING; TYPEWRITERS

개별적으로 제어가능한 레이저 빔들을 기준 X-방향으로 이미징 장치에 대해 이동가능한 이미징 표면 상으로 투사하기 위한 이미징 장치가 제시된다. 상기 이미징 장치는 복수의 반도체 칩을 포함하고, 각 반도체 칩은 M개의 행 및 N개의 열의 2차원 메인 어레이로 배열된 복수의 레이저 빔 방출 소자를 포함한다. 각 행 내의 상기 소자들은 균일한 간격(A)을 갖고, 각 열 내의 상기 소자들은 균일한 간격(a)을 갖는다. 상기 칩들은, 상기 X-방향에 대해 횡방향인 기준 Y-방향으로 서로 인접한 각 쌍의 칩들이 상기 X-방향으로 서로 오프셋되...