리소그래피 시스템의 다수의 미러의 각각의 위치를 결정하기 위한 센서 조립체 및 방법

• Main Authors: HORN JAN, BERGER LARS, KRONE STEFAN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 24.01.2018
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; TESTING

본 발명은 리소그래피 시스템(100)의 다수의 미러(M1 내지 M6)의 각각의 위치를 확인하기 위한 센서 배열체이며, 다수의 위치 센서 장치(140)로서, 각각의 위치 센서 장치(140)는 광빔에 의한 노출의 경우에 미러(M1 내지 M6)의 위치의 광학 위치 신호를 제공하기 위한 측정 유닛(201), 광빔에 측정 유닛(201)을 노출하기 위한 광원(203), 제공된 광학 위치 신호를 검출함으로써 아날로그 전기 위치 신호를 출력하기 위한 복수의 광검출기(205)를 갖는 검출 유닛(204), 및 신호 처리 유닛(207)을 포함하고, 신호 처리 유닛은 아날로그 전기 위치 신호를 디지털 전기 위치 신호로 변환하기 위한 적어도 하나의 A/D 변환기(208)를 갖고, 적어도 광원(203) 및 신호 처리 유닛(207)은 진공 하우징(137) 내에 배열된 집적 구성요소(200) 내에 제공되는, 다수의 위치 센서 장치(140)와, 디지털 전기 위치 신호에 의해 미러(M1 내지 M6)의 위치를 확인하기 위한 평가 장치(304)를 갖는, 센서 배열체에 관한 것이다. A sensor arrangement includes at least one position sensor apparatus for providing a position signal for a mirror and an evaluation apparatus for ascertaining the position of the mirror depending on the position signal.