캐리어 또는 기판의 운송을 위한 장치 및 방법

• Main Authors: HAAS DIETER, BANGERT STEFAN, HEIMEL OLIVER, VERCESI TOMMASO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 08.01.2018
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SEMICONDUCTOR DEVICES; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

증착 소스의 비접촉 운송을 위한 장치가 제공된다. 장치는 증착 소스 조립체를 포함한다. 증착 소스 조립체는 증착 소스를 포함한다. 증착 소스 조립체는 제1 능동 자기 유닛을 포함한다. 장치는 소스 운송 방향으로 연장되는 가이딩 구조를 포함한다. 증착 소스 조립체는 가이딩 구조를 따라 이동가능하다. 제1 능동 자기 유닛 및 가이딩 구조는 증착 소스 조립체를 부상시키기 위한 제1 자기 부상력을 제공하도록 구성된다. An apparatus for contactless transportation of a deposition source is provided. The apparatus includes a deposition source assembly. The deposition source assembly includes the deposition source. The deposition source assembly includes a first active magnetic unit. The apparatus includes a guiding structure extending in a source transportation direction. The deposition source assembly is movable along the guiding structure. The first active magnetic unit and the guiding structure are configured for providing a first magnetic levitation force for levitating the deposition source assembly.