태양 전지의 이미터 층을 위한 증착 접근법

• Main Authors: SMITH DAVID D, WESTERBERG STAFFAN, COUSINS PETER JOHN, QIU TAIQING, JOHNSON MICHAEL C
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 01.12.2017
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

태양 전지를 제조하는 방법 및 이에 따른 태양 전지가 본 명세서에 기술된다. 일 실시예에서, 태양 전지를 제조하는 방법은 기판의 표면의 라디칼 산화 또는 플라즈마 산화에 의해 기판의 표면 상에 얇은 유전체 층을 형성하는 단계를 포함한다. 이 방법은 또한 얇은 유전체 층 상에 규소 층을 형성하는 단계를 포함한다. 이 방법은 또한 규소 층으로부터 복수의 이미터 영역을 형성하는 단계를 포함한다. Methods of fabricating solar cells, and the resulting solar cells, are described herein. In an example, a method of fabricating a solar cell includes forming a thin dielectric layer on a surface of a substrate by radical oxidation or plasma oxidation of the surface of the substrate. The method also involves forming a silicon layer over the thin dielectric layer. The method also involves forming a plurality of emitter regions from the silicon layer.