열유속센서의 제조방법 및 그에 이용하는 열류발생장치

• Main Authors: GOUKO NORIO, SHIRAISHI YOSHIHIKO, OKAMOTO KEIJI, SAKAIDA ATUSI
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 23.11.2017
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING QUANTITY OF HEAT; MEASURING TEMPERATURE; PHYSICS; TESTING; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR

열유속센서(10)의 제조방법에서는 히터 플레이트(206)와 냉각부(210)의 사이에 열유속센서(10)를 위치시킨다. 그리고 열유속센서(10)의 일면측에 히터 플레이트(206)를 배치하고, 타면측에 냉각부(210)를 배치하고 있다. 또한, 히터 플레이트(206)의 면 중, 열유속센서(10)가 배치된 면과 반대측의 면에 방열측정용 워크(205)를 배치하고 있다. 이와 같은 구성에서는 검사공정에 있어서, 히터 플레이트(206)가 환경온도로 되도록 히터 플레이트(206)의 온도를 제어하면 좋다. 따라서, 히터 플레이트(206)의 온도를 안정시킬 때까지 걸리는 시간이 단시간에 완료되도록 할 수 있다. According to a manufacturing method of a heat flux sensor 10, the heat flux sensor 10 is sandwiched between a heater plate 206 and a cooling unit 210. The heater plate 206 is disposed on the first surface of the heat flux sensor 10, and the cooling unit 210 is disposed on the second surface of the same. A heat radiation measurement plate 205 is disposed on a surface of the heater plate 206 opposite to the surface on which the heat flux sensor 10 is disposed. According to this configuration, the temperature of the heater plate 206 is controlled in an inspection process such that the heater plate 206 is kept at an ambient temperature. This makes it possible to stabilize the temperature of the heater plate 206 in a short time.