전자 디바이스

관통 배선을 용이하게 형성할 수 있는 전자 디바이스가 제공된다. 전자 디바이스는, 압력실 형성 기판(29)이 접속되는 제 1 면(41), 및 구동 IC(34)가 마련되는 제 1 면(41)과는 반대측의 제 2 면(42)을 갖는 밀봉판(33)과; 밀봉판(33)의 제 1 면(41)에 노즐 열 방향으로 배치되고 신호를 압전 소자(32)에 출력하는 범프 전극(40)과; 밀봉판(33)의 제 2 면(42)에 노즐 열 방향으로 배치되고 신호가 입력되는 개별 접속 단자(54)를 포함하며, 범프 전극(40) 중 하나와 범프 전극(40)에 대응하는 개...

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Main Author TANAKA SHUICHI
Format Patent
LanguageKorean
Published 14.11.2017
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Summary:관통 배선을 용이하게 형성할 수 있는 전자 디바이스가 제공된다. 전자 디바이스는, 압력실 형성 기판(29)이 접속되는 제 1 면(41), 및 구동 IC(34)가 마련되는 제 1 면(41)과는 반대측의 제 2 면(42)을 갖는 밀봉판(33)과; 밀봉판(33)의 제 1 면(41)에 노즐 열 방향으로 배치되고 신호를 압전 소자(32)에 출력하는 범프 전극(40)과; 밀봉판(33)의 제 2 면(42)에 노즐 열 방향으로 배치되고 신호가 입력되는 개별 접속 단자(54)를 포함하며, 범프 전극(40) 중 하나와 범프 전극(40)에 대응하는 개별 접속 단자(54) 중 하나를 각각 접속하는 배선은, 밀봉판(33)을 관통하는 관통 구멍(45a)의 내부에 형성되고 도체로 이루어지는 관통 배선(45)을 각각 구비하고, 관통 배선(45)은 범프 전극(40) 또는 개별 접속 단자(54)로부터 노즐 열 방향에 직교하는 방향으로 떨어진 위치에 형성되고, 노즐 열 방향으로 인접한 각 2개의 관통 배선(45)은 노즐 열 방향에 직교하는 방향에 있어서의 상이한 위치에 배치된다. Provided is an electronic device in which penetrating wires can be formed easily. The electronic device includes a sealing plate 33 having a first surface 41 to which a pressure chamber-forming plate 29 is connected and a second surface 42 which is on a side opposite from the first surface 41 and on which a drive IC 34 is provided; bump electrodes 40 which are arranged in a nozzle row direction on the first surface 41 of the sealing plate 33 and which output signals to piezoelectric elements 32; individual connection terminals 54 which are arranged in the nozzle row direction on the second surface 42 of the sealing plate 33 and to which the signals are inputted, wherein wires each of which connects one of the bump electrodes 40 to one of the individual connection terminals 54 corresponding to the bump electrode 40 each include a penetrating wire 45 formed inside a through hole 45a penetrating the sealing plate 33 and made of a conductor, the penetrating wires 45 are formed at positions away from the bump electrodes 40 or the individual connection terminals 54 in a direction perpendicular to the nozzle row direction, and each two of the penetrating wires 45 adjacent in the nozzle row direction are arranged at different positions in the direction perpendicular to the nozzle row direction.
Bibliography:Application Number: KR20177027326