ILLUMINATION APPARATUS OPTICAL APPARATUS IMPRINT APPARATUS PROJECTION APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING ARTICLE

본 발명은, 사입사 조명을 행하는 조명 장치를 제공하고, 상기 장치는 점 광원을 생성하도록 각각 구성되는 복수의 광학 요소의 어레이로 형성된 제1 광학 요소와, 제1 광학 요소로부터의 광을 수광하고, 1개의 방향의 파워가 상기 1개의 방향에 수직인 방향의 파워와 상이한 조명 영역을 형성하도록 구성되는 제2 광학 요소를 포함하며, 사입사 조명에 의한 조명 영역의 왜곡의 보상을 행하도록, 제1 광학 요소 및 제2 광학 요소 중 적어도 1개는 그 광축 둘레의 회전각을 갖는다. The present invention provides an...

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Main Authors MATSUMOTO TAKAHIRO, MIYAHARU TAKAFUMI, SHINODA KEN ICHIRO, SATO KAZUHIRO
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 12.10.2017
Subjects
APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
CINEMATOGRAPHY
ELECTROGRAPHY
HOLOGRAPHY
MATERIALS THEREFOR
ORIGINALS THEREFOR
PHOTOGRAPHY
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES
PHYSICS
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Summary:본 발명은, 사입사 조명을 행하는 조명 장치를 제공하고, 상기 장치는 점 광원을 생성하도록 각각 구성되는 복수의 광학 요소의 어레이로 형성된 제1 광학 요소와, 제1 광학 요소로부터의 광을 수광하고, 1개의 방향의 파워가 상기 1개의 방향에 수직인 방향의 파워와 상이한 조명 영역을 형성하도록 구성되는 제2 광학 요소를 포함하며, 사입사 조명에 의한 조명 영역의 왜곡의 보상을 행하도록, 제1 광학 요소 및 제2 광학 요소 중 적어도 1개는 그 광축 둘레의 회전각을 갖는다. The present invention provides an illumination apparatus which performs oblique illumination, the apparatus including a first optical element formed with an array of a plurality of optical components each configured to generate a point light source, and a second optical element configured to receive light from the first optical element and form an illumination region, with a power thereof in one direction being different from a power thereof in a direction perpendicular to the one direction, wherein at least one of the first optical element and the second optical element has a rotation angle about an optical axis thereof so as to perform compensate for distortion of the illumination region by the oblique illumination.
Bibliography:Application Number: KR20170039063