Energy-Sensitive Composition Cured Product and Its Production Method

본 발명은 열중량 안정성이 우수한 에너지 감수성 조성물, 및 이것을 경화한 경화물 및 경화물의 제조 방법을 제공한다. 본 발명은 (P1) 양이온적 및/혹은 산촉매적으로 중합성 및/또는 가교성의 화합물, (P2) 산의 작용 하에서의 현상액에 있어서의 그 용해성을 증대시키는 화합물, 및 (Px) 라디칼 중합성 또는 가교성의 화합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 화합물 성분(P)과(Q) 식 (a1)로 표시되는 술포늄염을 포함하는 에너지 감수성 조성물을 제공한다. The present invention provides an...

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Main Authors NODA KUNIHIRO, KUROKO MAYUMI, CHISAKA HIROKI, SHIOTA DAI
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 12.10.2017
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Summary:본 발명은 열중량 안정성이 우수한 에너지 감수성 조성물, 및 이것을 경화한 경화물 및 경화물의 제조 방법을 제공한다. 본 발명은 (P1) 양이온적 및/혹은 산촉매적으로 중합성 및/또는 가교성의 화합물, (P2) 산의 작용 하에서의 현상액에 있어서의 그 용해성을 증대시키는 화합물, 및 (Px) 라디칼 중합성 또는 가교성의 화합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 화합물 성분(P)과(Q) 식 (a1)로 표시되는 술포늄염을 포함하는 에너지 감수성 조성물을 제공한다. The present invention provides an energy sensitive composition having excellent thermogravity stability, a cured product derived from curing the energy sensitive composition, and a method for preparing the cured product. The energy sensitive composition of the present invention comprises: at least one compound component (P) selected from the group consisting of cationic and/or acid catalyzed polymerizable and/or crosslinkable compound (P1), a compound (P2) which increases the solubility of developing solution under the effect of an acid, and a free-radical polymerizable or crosslinkable compound (Px), and a sulfonium salt represented by (a1) in the formula (Q).
Bibliography:Application Number: KR20170037055