Thermal array system
시스템 및 방법이 제공된다. 상기 시스템 및 방법은 적어도 세 개의 전력 노드들을 구비하며, 이 경우에 열 엘리먼트가 전력 노드들의 각 쌍 사이에 연결된다. A thermal system includes a base member, a two-phase fluid, a tuning heater, and a chuck. The base member includes at least one fluid passageway. The two-phase fluid is disposed within the fluid passageway. A pre...
Saved in:
Main Authors | , , |
---|---|
Format | Patent |
Language | English Korean |
Published |
19.09.2017
|
Subjects | |
Online Access | Get full text |
Cover
Loading…
Be the first to leave a comment!