SAMPLE STAGE

본 발명은 예를 들어, 주사 전자 현미경에 사용하기 위한 샘플 스테이지에 관한 것이다. 샘플 스테이지는 기저부, 샘플 캐리어, 및 기저부에 실질적으로 평행한 적어도 일 방향으로 샘플 캐리어를 이동시키도록 배열되는 작동기 조립체를 포함한다. 작동기 조립체는 샘플 캐리어로부터 기저부까지의 샘플 스테이지의 기계 강도에 기여하지 않도록 배열된다. Sample stage, e.g. for use in a scanning electron microscope. The sample stage includes a base, a sample carr...

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Main Authors HAMMEN ADRIANUS FRANCISCUS JOHANNES, VAN DER MAST KAREL DIEDERICK, KLUIJTMANS TON ANTONIUS CORNELIS HENRICUS, STAMSNIJDER GERHARDUS BERNARDUS, VAN DEN BOS PAUL CORNELIS MARIA, STOKS SANDER RICHARD MARIE
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 15.09.2017
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
ELECTRICITY
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Summary:본 발명은 예를 들어, 주사 전자 현미경에 사용하기 위한 샘플 스테이지에 관한 것이다. 샘플 스테이지는 기저부, 샘플 캐리어, 및 기저부에 실질적으로 평행한 적어도 일 방향으로 샘플 캐리어를 이동시키도록 배열되는 작동기 조립체를 포함한다. 작동기 조립체는 샘플 캐리어로부터 기저부까지의 샘플 스테이지의 기계 강도에 기여하지 않도록 배열된다. Sample stage, e.g. for use in a scanning electron microscope. The sample stage includes a base, a sample carrier, and an actuator assembly arranged for moving the sample carrier in at least one direction substantially parallel to the base. The actuator assembly is arranged so as not to contribute to the mechanical stiffness of the sample stage from the sample carrier to the base.
Bibliography:Application Number: KR20177015879