적외선 및 자외선 모니터링을 위한 작은 부피, 긴 경로길이의 다중-통과 기체 셀

유체를 모니터링하기 위한 다중통과 셀 조립체 뿐만 아니라, 그러한 조립체를 이용한 유체 프로세싱 시스템, 그리고 유체 모니터링을 위한 그러한 다중통과 셀 조립체의 연관된 이용 방법이 설명된다. 다중통과 셀 조립체는 증착 프로세스 반응물, 예를 들어 텅스텐 카르보닐 전구체로부터의 텅스텐의 증착 메탈라이제이션을 위해서 이용된 반응물의 모니터링과 같은 유체 프로세싱 동작에서 유용하게 이용된다. A multipass cell assembly for monitoring of fluid is described, as well as fluid...

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Main Authors COATES JOHN P, BAUM THOMAS H, WRIGHT JR. ROBERT L
Format Patent
LanguageKorean
Published 13.09.2017
Subjects
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
MEASURING
MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUIDLEVEL
METERING BY VOLUME
PHYSICS
TESTING
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Summary:유체를 모니터링하기 위한 다중통과 셀 조립체 뿐만 아니라, 그러한 조립체를 이용한 유체 프로세싱 시스템, 그리고 유체 모니터링을 위한 그러한 다중통과 셀 조립체의 연관된 이용 방법이 설명된다. 다중통과 셀 조립체는 증착 프로세스 반응물, 예를 들어 텅스텐 카르보닐 전구체로부터의 텅스텐의 증착 메탈라이제이션을 위해서 이용된 반응물의 모니터링과 같은 유체 프로세싱 동작에서 유용하게 이용된다. A multipass cell assembly for monitoring of fluid is described, as well as fluid processing systems utilizing same, and associated methods of use of such multipass cell assembly for fluid monitoring. The multipass cell assembly is usefully employed in fluid processing operations such as monitoring of vapor deposition process reactants, e.g., reactants used for vapor deposition metallization of tungsten from a tungsten carbonyl precursor.
Bibliography:Application Number: KR20177022665