하부 밀봉 장치를 갖는 실리콘 증착 반응기

• Main Authors: MILLER MATTHEW J, HANSEN JEFFREY A, SPANGLER MICHAEL V
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 06.09.2017
• Subjects: CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; THEIR RELEVANT APPARATUS; TRANSPORTING

고순도 실리콘으로 코팅된 입자를 제조하기 위한 유동층 반응기 시스템이 개시된다. 용기는 외부 쉘, 상기 외부 쉘 내측의 절연층, 상기 외부 쉘 내측의 동심 내부 쉘, 및 상기 내부 쉘의 내측에 배치되고 반응기 챔버를 한정하는 동심 라이너를 갖는다. 상기 내부 쉘 및 라이너는 오링 밀봉 장치에 의해 그들의 하부에서 함께 밀봉되어 반응기 챔버 내의 기체가 상기 내부 쉘과 상기 라이너 사이의 공간으로 유입되는 것을 방지한다. 중앙 유입구 노즐이 반응기 챔버 내에서 수직 기체 플룸을 생성한다. Fluidized bed reactor systems for producing high purity silicon-coated particles are disclosed. A vessel has an outer shell, an insulation layer inwardly of the outer shell, a concentric inner shell inwardly of the outer shell, and a concentric liner that is positioned inwardly of the inner shell and that defines a reactor chamber. The inner shell and liner are sealed together at their bottoms by an O-ring seal arrangement to prevent gas in the reactor chamber from entering a space between the inner shell and the liner. A central inlet nozzle produces a vertical gas plume in the reactor chamber.