ATOMIC BEAM SOURCE

• Main Authors: NAGAE TOMOKI, TSUJI HIROYUKI, TAKAHASHI TOMONORI, KONDO YOSHIMASA, KITAMURA KAZUMASA, AKAO TAKAYOSHI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 30.08.2017
• Subjects: ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS

원자선원(10)은, 원자선을 방출 가능한 방출구(32)가 형성된 방출부(30)를 갖는 통형상의 음극(20)과, 음극(20)의 내부에 설치된 막대형상의 제1 양극(40)과, 음극(20)의 내부에 제1 양극(40)과 이격되어 설치된 막대형상의 제2 양극(50)을 갖추고, 음극(20)의 형상, 제1 양극(40)의 형상, 제2 양극(50)의 형상, 및, 음극(20)과 제1 양극(40)과 상기 제2 양극(50)의 위치 관계로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 1 이상을 미리 정해진 구성으로 함으로써, 제1 양극(40)과 제2 양극(50) 사이에서의 플라즈마에 의해 생긴 양이온이 음극(20), 제1 양극(40) 및 제2 양극(50) 중 적어도 하나와 충돌하여 발생하는 스퍼터 입자의 방출을 억제하는 것이다. An atomic beam source includes a tubular cathode that includes an emission portion that includes an emission port through which an atomic beam can be emitted, a rod-shaped first anode disposed inside the cathode, and a rod-shaped second anode disposed inside the cathode and spaced from the first anode. At least one selected from the group consisting of a shape of the cathode, a shape of the first anode, a shape of the second anode, and a positional relationship between the cathode, the first anode, and the second anode is predetermined so that emission of sputter particles resulting from collision of cations, which have been generated by plasma between the first anode and the second anode, with at least one selected from the cathode, the first anode, and the second anode is reduced.