ENCODER POSITION MEASUREMENT SYSTEM AND LITHOGRAPHIC APPARATUS

• Main Authors: COSIJNS SUZANNE JOHANNA ANTONETTA GEERTRUDA, BAARTMAN JAN PETER, TONG MINH BRYAN, PRIL WOUTER ONNO, KOOIKER ALLARD EELCO
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 31.07.2017
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVEREDIN A SINGLE OTHER SUBCLASS; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; MEASURING; MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; TARIFF METERING APPARATUS; TESTING

인코더는 광학 구성요소, 및 제 1 표면 부분 및 제 2 표면 부분을 갖는 인클로징 디바이스를 포함한다. 제 1 표면 부분은 주위 환경으로부터 제 1 방사선 빔을 수용하도록 배치된다. 제 2 표면 부분은 주위 환경으로부터 제 2 방사선 빔을 수용하도록 배치된다. 광학 구성요소는 제 1 방사선 빔 및 제 2 방사선 빔을 조합하도록 배치된다. 인클로징 디바이스는 제 1 경로를 따라 제 1 방사선을 전파하도록 배치된다. 제 1 경로는 제 1 표면 부분과 광학 구성요소 사이에 존재한다. 인클로징 디바이스는 제 2 경로를 따라 제 2 방사선 빔을 전파하도록 배치된다. 제 2 경로는 제 2 표면 부분과 광학 구성요소 사이에 존재한다. 인클로징 디바이스는 공간을 에워싸도록 배치되어, 주위 환경으로부터 제 1 경로 및 제 2 경로를 격리시킨다. An encoder includes an optical component and an enclosing device having a first surface portion and a second surface portion. The first surface portion is arranged to receive from an ambient environment a first radiation beam. The second surface portion is arranged to receive from the ambient environment a second radiation beam. The optical component is arranged to combine the first and second radiation beams. The enclosing device is arranged to propagate the first radiation beam along a first path. The first path is between the first surface portion and the optical component. The enclosing device is arranged to propagate the second radiation beam along a second path. The second path is between the second surface portion and the optical component. The enclosing device is arranged to enclose a space, so as to isolate the first path and the second path from the ambient environment.