SPLITTING OF A SOLID USING CONVERSION OF MATERIAL

본 발명은 고체로부터 고체 부분를 분리하기 위해 고체에 분리영역을 생성하는 방법에 관한 것이고, 고체로부터 적어도 하나의 고체 부분를 절단하는 방법에 관한 것이다. 고체층을 분리하기 위해 고체 내에 분리영역을 생성하는 방법은 다음 단계들을 포함한다: 바람직하게는 화합물로 이루어진 가공될 고체를 제공하는 단계; 및 레이저 광원을 제공하는 단계; 상기 고체에 상기 레이저 광원으로부터의 레이저 조사를 조사하는 단계. A method for producing a detachment region in a solid-state body inc...

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Main Authors RICHTER JAN, BEYER CHRISTIAN, RIESKE RALF
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 26.07.2017
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