SUBSTRATE HOLDING DEVICE SUBSTRATE TRANSPORT DEVICE PROCESSING ARRANGEMENT AND METHOD FOR PROCESSING A SUBSTRATE

• Main Authors: HAUSLER CHRISTOPH, MELCHER JENS, ZSCHIESCHANG ERWIN, HORNBOSTEL BJORN, LAIMER GEORG, KUNANZ ROBERT
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 26.07.2017
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

다양한 실시예에 따르면, 기판 유지 장치(100)가 제공되며, 기판 유지 장치(100)는 공동(112)을 갖는 캐리어 플레이트(102)로서, 공동(112)이 캐리어 플레이트(102)의 상측면(102a)으로부터 캐리어 플레이트(102)를 통해서 캐리어 플레이트(102)의 하측면(102b)으로 연장되는 캐리어 플레이트(102); 및 공동(112) 내에 기판(120)을 유지하기 위해 프레임 개구(132)와 상기 프레임 개구(132)를 둘러싸는 지지면(111a)을 갖는 유지 프레임(132a)을 포함하며; 공동(112) 내에 삽입되는 유지 프레임(132a)은 캐리어 플레이트(102) 상에 부분적으로 놓인다. In accordance with various embodiments, provision is made of a substrate holding device, wherein the latter may comprise a carrier plate with a recess, the recess extending from an upper side of the carrier plate to a lower side of the carrier plate through the carrier plate, a holding frame, which has a frame opening and a support area, surrounding the frame opening, for holding a substrate in the recess, wherein the holding frame inserted into the recess lies on the carrier plate in sections.