Apparatus for surface component analysis using a plasma and method thereof

• Main Authors: KIM, DUK JAE, SHIM, YUN KEUN
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 10.07.2017
• Subjects: ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS; TESTING

개시된 내용은 플라즈마를 이용한 표면 성분 분석 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 플라즈마 제트에서 제어모듈의 제어를 토대로 측정대상물의 표면에 플라즈마를 직접 조사하여 표면에 존재하는 원소와 반응시키고, 플라즈마 제트에 내장된 광 측정모듈은 플라즈마 제트에 의해 조사되는 플라즈마에 의해 반응하여 측정대상물에서 방출되는 광 특성을 측정하여 제어모듈로 출력하며, 제어모듈은 광 측정모듈에서 측정한 광 특성 정보를 기저장되어 있는 에너지 준위에 따른 원소 특성 및 상태에 대한 테이블 데이터와 비교하여 측정대상물의 표면 성분을 분석하고 분석결과를 화면상에 표시한다. 따라서, 본 발명은 기존의 고가의 진공 장비를 이용하여 분석하던 것을 간단하게 대기 중에서 분석할 수 있으며, 이에 따라 분석 시간의 단축 및 비용 절감을 이룰 수 있다.