CAPACITANCE SENSOR

• Main Authors: BESSHO YUSUKE, YONEZAWA MASAYA, OTAKA HIDEO
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 30.06.2017
• Subjects: MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

사용 환경에 의한 정전 용량 측정값의 변동이 작은 정전 용량형 센서를 제공하는 것을 목적으로 하고, 본 발명의 정전 용량형 센서는, 중앙 전극층, 상기 중앙 전극층 상면에 적층된 제1 유전층, 상기 중앙 전극층 하면에 적층된 제2 외측 전극층, 상기 제1 유전층의 상기 중앙 전극층측과 반대측 면에 형성된 제1 외측 전극층, 상기 제2 유전층의 상기 중앙 전극층측과 반대측 면에 형성된 제2 외측 전극층을 포함하고, 상기 제1 유전층 및 상기 제2 유전층은 엘라스토머제이고 상기 중앙 전극층 및 상기 제1 외측 전극층이 대향하는 부분을 제1 검출부, 상기 중앙 전극층 및 상기 제2 외측 전극층이 대향하는 부분을 제2 검출부로 하고 가역적으로 변형가능하고 또한 변형에 따라 상기 제1 검출부 및 상기 제2 검출부의 정전 용량이 변화되는 센서 시트와 계측기를 구비하고, 상기 제1 검출부의 정전 용량과 상기 제2 검출부의 정전 용량을 가산한 합계 정전 용량에 따라 상기 센서 시트의 변형 상태를 계측한다. Provided is a capacitive sensor (1) in which fluctuation in the measured value of capacitance caused by the use environment is small. Disclosed is a capacitive sensor (1) which includes a sensor sheet (2) and a measuring instrument (3), the sensor sheet (2) including a central electrode layer (12A); a first dielectric layer (11A) laminated on the upper surface of the central electrode layer (12A); a second dielectric layer (11B) laminated on the lower surface of the central electrode layer (12A); a first outer electrode layer (12B) formed on the surface of the first dielectric layer (11A) on the opposite side of the central electrode layer (12A) side; and a second outer electrode layer (12C) formed on the surface of the second dielectric layer (11B) on the opposite side of the central electrode layer (12A) side, in which the first dielectric layer (11A) and the second dielectric layer (11B) are formed from elastomers, the part where the central electrode layer (12A) and the first outer electrode layer (12B) face each other is designated as a first detection portion, while the part where the central electrode layer (12A) and the second outer electrode layer (12C) face each other is designated as a second detection portion, the sensor sheet is (2) reversibly deformable, and the capacitances of the first detection portion and the second detection portion change with deformation. The state of deformation of the sensor sheet (2) is measured on the basis of the total capacitance by adding the capacitance of the first detection portion and the capacitance of the second detection portion.