Method and apparatus for recognizing marker of semi-conductor wafer image

본 발명의 일 태양에 따른 반도체 웨이퍼 이미지의 마커 식별 방법은, 레퍼런스 반도체 웨이퍼 이미지에서 기본 마커 이미지를 추출하는 단계와 상기 기본 마커 이미지를 변형하여 변형 마커 이미지를 획득하는 단계와 상기 기본 마커 이미지와 상기 변형 마커 이미지를 입력으로 기계 학습을 통해 멀티 모델을 생성하는 단계 및 상기 멀티 모델을 이용하여 타겟 반도체 웨이퍼 이미지 상의 마커 위치를 결정하는 단계를 포함할 수 있다....

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Main Authors SEO, DAE HONG, HWANG, BONG KYU, SUNG, BYUNG YONG, KONG, JUNG MIN, SAH SUDHAKAR, KIM, DAE HYUN
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 22.06.2017
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
CALCULATING
COMPUTER SYSTEMS BASED ON SPECIFIC COMPUTATIONAL MODELS
COMPUTING
COUNTING
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
PHYSICS
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:본 발명의 일 태양에 따른 반도체 웨이퍼 이미지의 마커 식별 방법은, 레퍼런스 반도체 웨이퍼 이미지에서 기본 마커 이미지를 추출하는 단계와 상기 기본 마커 이미지를 변형하여 변형 마커 이미지를 획득하는 단계와 상기 기본 마커 이미지와 상기 변형 마커 이미지를 입력으로 기계 학습을 통해 멀티 모델을 생성하는 단계 및 상기 멀티 모델을 이용하여 타겟 반도체 웨이퍼 이미지 상의 마커 위치를 결정하는 단계를 포함할 수 있다.
Bibliography:Application Number: KR20150178403