UV EXPOSURE SYSTEM FOR BIOCHIP FABRICATION

• Main Authors: JEONG, KI SOO, PARK, KYOUNG TAIK, KWAK, BONG SEOP, LEE, KANG HO
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 22.06.2017
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

본 기재는, 챔버, 챔버 내부에 제1 방향을 따라 챔버의 외부로 인출 가능하게 배치되며 일면에 감광성 고분자가 코팅된 웨이퍼 기판 및 노광 마스크가 실장되는 실장부, 실장부의 상부에 배치되며, 실장부의 상부를 지지하여 실장부와의 사이에 배치된 노광 마스크를 고정하며, 노광 마스크에 자외선이 전달되도록 투과창을 포함하는 노광 마스크 고정부 및 챔버 내부에 배치되며, 웨이퍼 기판 및 노광 마스크에 자외선을 제공하는 광원부를 포함하며, 실장부는, 실장부의 하부에 배치되어 웨이퍼 기판과의 사이에 진공을 형성하여 웨이퍼 기판 및 노광 마스크를 실장부에 고정시키는 진공 패드 및 진공 패드에 공기를 유동시켜 진공 패드에 의해 고정된 웨이퍼 기판 및 노광 마스크를 실장부로부터 이탈시키는 에어밴트를 포함하는 바이오칩 제작용 자외선 노광 장치에 관한 것으로, 장치가 차지하는 부피를 보다 감소시켜 협소한 장소에서도 사용이 가능하며, 장치의 제작에 필요한 비용을 보다 경감시킬 수 있기 때문에 비용의 부담없이 범용적으로 사용이 가능하며, 미세 구조를 가지는 바이오칩을 제작에 사용되는 마스터 몰드를 제조할 수 있는 바이오칩 제작용 자외선 노광 장치를 제공할 수 있다. The present description relates to an ultraviolet exposure device for manufacturing a biochip, wherein the volume taken up by the device is reduced so that the device can be used even in a small space, the cost required for the manufacture of the device can be reduced so that the device can be generally used without a heavy cost burden, and the device enables the manufacture of a master mold which is used to manufacture a biochip having a microstructure.